用于制造下一代半导体的极紫外光刻,解密大阪大学教授30年前开发的"CLBO晶体"
2024-03-22
大阪大学教授森勇介(兼任名古屋大学教授)30年前开发了"CLBO晶体(CsLiB6O10晶体)"。该晶体作为紫外激光器的波长转换元件,是现在用于制造下一代半导体极紫外光刻(EUV)前工序和后工序所必需的材料。 CLBO是 […]
大阪大学教授森勇介(兼任名古屋大学教授)30年前开发了"CLBO晶体(CsLiB6O10晶体)"。该晶体作为紫外激光器的波长转换元件,是现在用于制造下一代半导体极紫外光刻(EUV)前工序和后工序所必需的材料。 CLBO是 […]