Daicel（大赛璐）开发出半导体保护技术"纳米黏虫TM"

此前在5月1日的科学杂志《Microelectronic Engineering》刊登了株式会社Daicel（大赛璐，大阪市北区）开发的用于保护硅氮化膜免受蚀刻液侵蚀的保护材料「纳米黏虫TM」的研究成果。

这种由天然纤维素制成的水溶性树脂「纳米黏虫TM」具有独特的黏附性，作为其特点之一，只需在蚀刻工序之前通过喷嘴喷涂或浸渍方式涂抹，即可形成保护膜，免受蚀刻液的侵蚀。

另外，该论文不仅介绍了该材料在各种半导体制造中使用的蚀刻液处理时的保护性能，还与其他水溶性树脂进行了性能比较。此外，还利用X射线光电子能谱分析（XPS）的方法，确认了在硅氮化膜上形成的纳米级保护膜的存在。

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