此前在5月1日的科学杂志《Microelectronic Engineering》刊登了株式会社Daicel（大赛璐，大阪市北区）开发的用于保护硅氮化膜免受蚀刻液侵蚀的保护材料「纳米黏虫TM」的研究成果。 这种由天然纤维 […]
