Sigray的EclipseXRM-900开售，可实现对半导体的无损分析

据悉，佳能旗下的Canon Marketing Japan株式会社(佳能MJ)宣布将于2023年12月15日开售一款纳米X射线CT系统“EclipseXRM-900”，其最高空间分辨率为300nm。该系统由Sigray（美国，加州）制造，佳能此前已与该公司签订了日本独家经销协议。

据称，“EclipseXRM-900”通过Sigray正申请专利的专有设备机制，可实现300nm的最大空间分辨率。此外，对于高达100 mmΦ的样品，可实现亚微米级（小于1µm）的空间分辨率。由此实现了对需要与X射线源保持较远距离的大型样品及原位细胞（在电气、压力或温度负荷下测量样品）的高分辨率成像。例如，它可以对堆叠半导体的内部结构进行无损、高对比度的可视化。

由于采用了最新的X射线源和检测系统，无需使用高倍物镜的“EclipseXRM-900”的空间分辨率可达300nm，故数据采集更高效化。

为了满足日益增长的市场X射线分析的需求，佳能MJ将振兴其X射线CT系统市场，同时解决一直以来应用分析的课题，为此公司将继续增强产品阵容，扩大分析解决方案业务。在未来五年内，佳能MJ的预计目标是销售50台以上的EclipseXRM-900。

EclipseXRM-900应用对象领域：

• 半导体元件（封装、印刷电路板、晶片等）
• 高性能材料（锂电池、所有固态电池、燃料电池等）
• 金属材料（钢、不锈钢、铝合金、铜合金等）
• 软性材料（碳纤维、聚合物、橡胶等）
• 生物材料（细胞、生物功能材料等）
• 地球科学（矿物学、海洋物理学、行星地质学等）

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